工業(yè)直流式探針測(cè)試儀

工業(yè)直流式探針測(cè)試儀簡(jiǎn)介：

儀器適用于半導(dǎo)體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對(duì)導(dǎo)體、半導(dǎo)體、類半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測(cè)試。

BEST-300C 型材料電導(dǎo)率測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理測(cè)試試導(dǎo)體、半導(dǎo)體材料電阻率/方阻的多用途綜合測(cè)量?jī)x器。該儀器設(shè)計(jì)符合單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。

儀器成套組成：由主機(jī)、選配的四探針探頭和測(cè)試臺(tái)等三部分組成。

主機(jī)主要由數(shù)控恒流源，高分辨率 ADC、嵌入式單片機(jī)系統(tǒng)組成。自動(dòng)/手動(dòng)量程可選；電阻率、方阻、電阻測(cè)試類別快捷切換：儀器所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤輸入，簡(jiǎn)便可靠；具有零位、滿度自校功能；測(cè)試結(jié)果由數(shù)字表頭直接顯示。本測(cè)試儀采用可充電鋰電池供電，適合手持式變動(dòng)場(chǎng)合操作使用！

工業(yè)直流式探針測(cè)試儀參數(shù)特點(diǎn)：

1. 便于查看的顯示/直觀的操作性：高亮度、超清晰4.3寸彩色LCD顯示；操作易學(xué)，直觀使用；

2. 基本設(shè)置操作簡(jiǎn)單，方阻、電阻、電阻率、電導(dǎo)率和分選結(jié)果；多種參數(shù)同時(shí)顯示。

3. 精度高：電阻基本準(zhǔn)確度： 0.05％；方阻基本準(zhǔn)確度：3%；電阻率基本準(zhǔn)確度：3%

4. 整機(jī)測(cè)量最大相對(duì)誤差：≤±3%；整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度：≤±3%

5. 四位半顯示讀數(shù)；八量程自動(dòng)或手動(dòng)測(cè)試；

6. 測(cè)量范圍寬： 電阻：10-4Ω～105Ω ；方阻：10-4Ω/□～105Ω/□；

7. 正反向電流源修正測(cè)量電阻誤差

8. 恒流源：電流量程分為： 1uA、10uA、100uA、1mA、10mA 、100mA六檔；儀器配有恒流源開關(guān)可有效保護(hù)被測(cè)件，即先讓探針頭壓觸在被測(cè)材料上，后開恒流源開關(guān)，避免接觸瞬間打火。為了提高工作效率，如探針帶電壓觸單晶對(duì)材料及測(cè)量并無影響時(shí)，恒流源開關(guān)可一直處于開的狀態(tài)。

9. 可配合多種探頭進(jìn)行測(cè)試；也可配合多種測(cè)試臺(tái)進(jìn)行測(cè)試。

10. 校正功能：可手動(dòng)或自動(dòng)選擇測(cè)試量程 全量程自動(dòng)清零。

11. 厚度可預(yù)設(shè)，自動(dòng)修正樣品的電阻率,無需查表即可計(jì)算出電阻率。

12. 自動(dòng)進(jìn)行電流換向,并進(jìn)行正反向電流下的電阻率(或方塊電阻)測(cè)量,顯示平均值.測(cè)薄片時(shí),可自動(dòng)進(jìn)行厚度修正。

13. 雙電測(cè)測(cè)試模式，測(cè)量精度高、穩(wěn)定性好.

14. 具備溫度補(bǔ)償功能，修正被測(cè)材料溫漂帶來的測(cè)試結(jié)果偏差。

15. 比較器判斷燈直接顯示，勿需查看屏幕，作業(yè)效率得以提高。

3檔分選功能：超上限，合格，超下限，可對(duì)被測(cè)件進(jìn)行HI/LOW判斷，可直接在LCD使用標(biāo)志顯示；也可通過USB接口、RS232接口輸出更為詳細(xì)的分選結(jié)果。

16. 測(cè)試模式：可連接電腦測(cè)試、也可不連接電腦單機(jī)測(cè)試。

17. 豐富的接口，Handler接口、RS232接口、USB HOST、USB DEVICE。實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制。U盤可記錄測(cè)試數(shù)據(jù)